真空等离子清洗设备（CCP式）电极馈入的方式有哪些？

真空等离子清洗设备CCP容性耦合等离子体放电使用的电极馈入方式常见的有两类：

1、第1类是通过定制的铜棒+聚四氟乙烯绝缘件配合馈入到腔体内，在腔体内铜棒与连接排连接在一起。真空等离子清洗设备电极板上也安装相应的连接件。连接方式可以是插针公母头连接、铜片+弹片配合连接以及连接排与电极板通过铜带利用螺丝锁定连接。下图为常用的插针公母头连接的示意，其他连接只是在腔体内部有区别。


真空等离子清洗设备电极设计图	真空等离子清洗设备电极实物图

2、另外一类是在真空等离子清洗设备电极板上焊接连接棒，通过定制的绝缘套与焊接的连接棒配合，连接至腔体外；在腔体外再用导电排连接在一起，然后与等离子发生器的输出连接在一起。这一类主要是用于水冷电极结构连接，如是水冷电极结构那么焊接的连接棒为中空结构，这样就可以中通水、连接棒外接射频。具体结构需根客户要求而定。下图为连接示意（仅为示意图，实际结构会有所区别）。


真空等离子清洗设备电极设计图	真空等离子清洗设备电极实物图

以上关于真空等离子清洗设备电极馈入的方式清楚了吗？您还见过那些电极的馈入方式或者有好的想法，欢迎大家留言与我们交流和分享。

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