等离子体清洗机不同激发频率的特点？

 

 

射频放电（容性耦合方式）过程中，电极板产生的自偏压受到放电气压的影响，大致位于几十V到几百V的区间，电子的功率吸收主要来自于与电极板表面的振荡鞘层相互作用中获得的。所以，射频频率越高（如40.68MHz），电子获得的功率吸收相对较高，离子的轰击能量就会降下来。

射频放电（感应耦合方式）过程中，由于不涉及到电极，它是通过电磁感应的方式实现功率耦合的，电子从涡旋电场中获得能量，而离子能量很低（小于10V），等离子体密度高，属于无极放电的范畴。

 

微波放电有两种方式，表面波型和电子回旋共振型，商业用于清洗的一般都属于表面波型，其工作模式是通过辐射微波电磁场直接将气体击穿实现放电，显然，没有离子的加速作用，因而其电子密度较高，但一般要求放电气压高。而放电气压高带来的问题是等离子体局域化比较严重，纵深清洗比较差，也不利于多层面的大尺度的清洗处理，另外，微波电磁场对电子元器件多多少少会有电磁辐射作用，有可能会造成电子元器件的击穿损伤。

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