
等离子体化学气相沉积(PECVD)是功能涂层制备的核心技术。其原理是将含有涂层元素的前驱体气体(如含硅、含氟、含碳的有机化合物)通入反应室,在等离子体的作用下,这些气体分子被裂解为大量活性极高的自由基和官能团。这些活性基团在工件表面发生复杂的化学反应,沉积并交织形成一层致密、均匀的固态薄膜。
PECVD:更强调在基材上沉积无机或无机-有机杂化薄膜(如二氧化硅、氮化硅、类金刚石薄膜)。
等离子体聚合(PP):是PECVD的一种特殊形式,使用有机单体,通过等离子体引发其在气相和表面聚合,形成有机聚合物薄膜(如聚酰亚胺、氟碳聚合物)。
二、 赋予表面“超能力”
| 表面功能 |
实现途径 |
应用场景 |
|
疏水/疏油 超亲水 |
沉积含氟碳链(如C4F8)的薄膜 沉积富含羟基(-OH)的二氧化硅类薄膜 |
手机屏防指纹、纺织品防污、医疗器械防粘附 防雾镜片、汽车玻璃、生物芯片亲水通道 |
|
阻隔性 |
沉积致密无针孔的SiO₂、SiNx薄膜 | 食品包装阻氧阻水、柔性电子器件封装防护 |
| 生物相容性 | 沉积磷胆碱基、聚乙二醇(PEG)类薄膜 |
抗凝血涂层、抑制蛋白非特异性吸附 |

智能手机摄像头模组的“防雾”秘诀
手机从寒冷的室外进入温暖的室内,摄像头内部极易结雾,导致成像模糊。这源于镜头表面与内部水汽的温差。
痛点:传统方法无法在微型化的模组内部有效制备持久防雾层。
解决方案:采用PECVD技术在镜头组和滤光片表面沉积一层超薄亲水纳米薄膜。
原理:这层膜具有极强的亲水性,能将凝结的水滴瞬间吸附并铺展成一层均匀的、看不见的水膜,从而避免微小水滴对光线的散射,保证成像清晰。
价值:提升了手机在复杂环境下的可靠性,是高端影像模组的标配工艺。


【普乐斯】薄膜低温等离子表面处理机设备-AP-800-AJR
【普乐斯】苏州小型真空等离子清洗机 PM/R-24LN
【普乐斯】半导体等离子表面处理设备 VPC-400T
第二叶片
【普乐斯】等离子清洗机-PR60L-S3
医用导管等离子清洗机 医用导管等离子刻蚀机
工业等离子清洗机 真空等离子清洗机 PLS-200L
【普乐斯】真空等离子清洗设备涂层处理-PR90L
桌面型等离子清洗机 AP-PR/M-3L
真空等离子清洗机报警灯