【普乐斯】半导体等离子表面处理设备 VPC-400T
品牌:普乐斯
名称:半导体等离子表面处理设备
型号: VPC-400T
功率: 整机峰值功率30KW
用途:用于不同材料的表面处理、适合于半导体行业
订购热线:400-816-9009
咨询热线:400-816-9009
产品特点
v触摸屏操作界面
v数字及图标多重工艺参数实时显示
v蜂鸣器+红色指示灯报警功能
v自动/手动操作模式切换
v可存储多套工艺配方
v可按客户要求进行定制
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v蜂鸣器+红色指示灯报警功能
v自动/手动操作模式切换
v可存储多套工艺配方
v可按客户要求进行定制
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产品参数
型号 | CPC-400T | VPC-400T | |
控制系统 | 控制方式 | 全自动控制(自动/手动切换) | |
PLC | |||
操作系统 | Windows 10 | ||
触摸屏 | 15寸 | ||
整机规格 | 尺寸 | W1000×D1650×H1650mm | |
腔体 | 尺寸 | Φ280×D550mm | |
材质 | 316不锈钢(标配)/铝合金(可选) | ||
料道 | 料道数量 | 4个 | |
料道宽度 | 30-80mm(可任意调节) | ||
料道长度 | 100-2600mm(可任意调节) | ||
UPH | 300-500片/小时(清洗10秒,可根据工艺要求设置) | ||
真空计 | 皮拉尼式真空计 | 1个 | |
流量计 | MFC+浮子流量计 | 1路MFC,1路浮子流量计;Ar、N2、O2(可选) | |
真空泵 | 机械油式旋片泵 | 1套 | |
发生器 | 中频/射频 | 40KHz,0~500W | 13.56MHz,0~150W |
额定功率 | 整机峰值功率 | 30KW | |
机台供电 | 单相三线式 | AC-3800V | |
选购品 | 干式泵、气浴电极(打孔)、托架、接枝气化仪、防腐密封、腔体加热、加热盘、温度传感器、H2安全阀、慢速泄气阀、慢速抽气阀、钢瓶减压阀、水冷电极、冰水机、模温机、非标法兰、陶瓷紧固件 |
注:以上参数仅供参考,本公司可能对相关产品参数进行调整,如有变动,恕不再另行通知。若有不明处,欢迎来电询问。
咨询热线:400-816-9009
工作原理
咨询热线:400-816-9009
应用领域
v用于不同材料的表面处理
v适合于半导体行业生产线
v适合于半导体行业生产线
快速反应,专业配合,精心打造服务生态链
1年质保,终身维护,提供配套服务
承诺到达现场的时限:昆山4小时,苏州8小时,江浙沪24小时,其他区域48小时
咨询热线:400-816-9009
荣誉资质
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