说到等离子辉光放电，是因为其电子能量和电子密度很高，能够通过激发碰撞产生可见光。以下通过较为常见的等离子清洗机水平电极结构来了解一下。
真空等离子清洗机的辉光放电一般需在低气压环境下进行的。而想要在大气压环境下也产生辉光放电，就需要一定的外电路条件以及对阴极连续冷却。辉光放电的特性参数如下表所示。
等离子清洗机的辉光放电的明显特征是以阴极位降所表征的气体中电位分布，这个电位分布是因为空间电荷的影响，辉光放电区別于电弧放电是具备大的阴极位降，以及本身辐射引起的光电离等。被辉光覆盖着的并参与放电现象的阴极表面正比于管内电流强度，当电流减小或增加时，电流密度保持不变，并且阴极位降也保持不变，这时的放电称为正常辉光放电。
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