普乐斯等离子清洗机观察，此前在中国台湾联合报的相关报道中，曾指出台积电也受到新冠疫情的影响，其3纳米试产线装设时间受到影响，但近期根据经济日报的相关报道称，在问及关于供应链传出台积电3纳米试产延期的相关消息，台积电表示，以往并没有正式发布3纳米试量产时程，3纳米试产时间延后是外界的猜测，所以不作评论。另外，台积电还表示，5纳米的制程还是其现在发展的重点，会依进度发展。
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