台积电表示5纳米制程是其目前发展重点，普乐斯等离子清洗机观察

文章导读：普乐斯等离子清洗机行业观察，近期根据经济日报的相关报道称，在问及关于供应链传出台积电3纳米试产延期的相关消息，台积电表示，以往并没有正式发布3纳米试量产时程，3纳米试产时间延后是外界的猜测，所以不作评论。