这次“计划”的推出，对于本土光刻机和刻蚀机来说是一个好事，但同样面临巨大的挑战。当前，我国本土设备与国外设备差距较大，80%-90%工艺设备需要进口。很多生产线不愿意采购国产设备，不愿意给国产设备试用的机会，因为他们要考虑经济效益，选择国外成熟设备是最安全的方式，而选择国产设备有很多的风险。国产设备因为没有试用的机会，没有发现问题、改进问题的机会，所以很难快速进步。因此，本次制定的新制造计划，对本土光刻机与刻蚀机是发展的机遇，却仍面临着许多挑战。
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本文来源：半导体行业观察
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