普乐斯等离子清洗与MEMS的关系，MEMS传感器及局部显微放大
MEMS传感器工作原理
MEMS传感器是采用微电子和微机械技工技术工艺制造出来的微型传感器，种类繁多，是使用最广泛的MEMS产品，通过微传感元件和传输单元把输入的信号转换并导出另一种可监测信号。与传统工艺制造的传感器相比，它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化的特点。
MEMS传感器应用领域广泛
作为获取信息和实现交互的关键器件，MEMS对机械系统的微型化起着重要的推动作用。MEMS传感器已在汽车电子、消费电子、航空航天、生物医学、工业等领域得到了广泛的应用。消费电子和汽车为目前MEMS最主要的应用领域。从2019年全球MEMS市场结构来看，消费电子为主要应用领域，占比接近60%；汽车为第二大应用领域，占比约19%。从2019年中国MEMS市场结构来看，网络与通信、计算机、消费电子合计占比50%，汽车领域占比29%。随着新能源车渗透率进一步提升与物联网的发展，在2019年，网络与通信、汽车电子占据MEMS市场应用半数以上的份额，随着5G、智能网联的落地，MEMS的渗透率将继续提升，上述领域的市场空间有望进一步打开。
第一阶段是从1990年到2000年，汽车的电子设备以及应用逐渐增多推动MEMS传感器应用落地，例如：安全气囊、制动压力、轮胎压力监测系统等。对这些需求的增长，使得欧洲、日本和美国的企业开始研发并且大量生产汽车周边所用的MEMS传感器产品；
第二阶段是从2000年到2010年，驱动力为消费电子的快速发展。消费电子产品如手机、平板电脑、笔记本电脑等要求MEMS传感器产品有更小的体积和更低的能耗表现；
第三阶段是从2010年到2020年，物联网产业的快速发展，使得MEMS传感器行业拥有了巨大的发展空间。除了智能手机、平板电脑等消费电子之外，MEMS传感器将会在AR/VR、智能手表、智能驾驶、智慧物流、智慧医疗等领域广泛应用。
第四阶段是从2020年起，随着自动驾驶、5G发展以及物联网普及，MEMS的发展空间被进一步拓展，通过提高MEMS传感器产品各项性能，以满足更小、更低能耗、更高性能的需求。
本文来源：半导体行业观察
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