低压等离子表面处理设备选用的罗茨泵有何特点？需注意什么？

罗茨真空泵是一种无内压缩的真空泵，它的压缩比比较低，罗茨真空泵在低压等离子表面处理设备上是无法单独使用的，通常都需要配备一台旋片式真空泵或干式螺杆真空泵作为底泵组，组成油式或干式真空泵组，一般应用在腔体比较大的等离子设备上，那么低压等离子表面处理设备选用的罗茨真空泵需要具备哪些特点呢？使用时有哪些需要注意的呢？

低压等离子表面处理设备上的罗茨真空泵需要具备的特点有：
1.启动时间短而且其抽速要大、抽真空效率要高；
2.需要对被抽气体的要求不是很高，可适应含有的灰尘或者是水蒸气的气体；
3.泵腔内不需有油，不能有油污染；
4.罗茨真空泵的结构需紧凑，占地面积要小；
5.结构要简单，方便维护及保养。

罗茨真空泵在使用时也有需要注意的地方：罗茨真空泵在运行当中会产生热量，所以我们通常会给罗茨真空泵配冷却装置。低压等离子表面处理设备中的罗茨真空泵所用的冷却装置常规的有3种，分别是空气冷却、油冷却以及水冷却。
以上就是低压等离子表面处理设备上罗茨真空泵应该具备的特点及罗茨真空泵使用时的注意事项，如果您想要了解更多关于低压等离子表面处理设备的详细内容或在设备使用中有疑问，欢迎点击普乐斯的在线客服进行咨询，或者直接拨打全国统一服务热线400-816-9009，普乐斯恭候您的来电！

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低压等离子表面处理设备选用的罗茨泵有何特点？需注意什么？

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