等离子清洗机的真空腔体由上下两部分组成，上部为上盖，下部为下盖。上盖和下盖之间通过密封圈连接，形成一个密闭的真空腔体。真空腔体内部通常采用不锈钢材质，无毛刺，以避免污染物在表面残留。
真空腔体的内部结构主要包括
1.等离子发生器等离子发生器是等离子清洗机的核心部分，它通过高频电场将气体转化为等离子体，实现表面污染物的清除。等离子发生器通常位于真空腔体的上部，与真空腔体内部通过密封圈连接。
2.样品架样品架通常位于真空腔体的下部，用于放置待清洗的样品。样品架一般采用不锈钢材质，以避免对样品的二次污染。
3.气体进口管和排气管气体进口管和排气管分别位于真空腔体的上部和下部，用于向真空腔体内输入气体和排出处理后的气体。气体进口管和排气管一般采用不锈钢材质，以避免气体在管道中残留。
等离子清洗机的真空腔体采用真空技术，将真空腔体内部的气压降一定程度，以保证等离子体在真空环境下稳定产生。真空腔体内部的气体通常通过抽气泵进行抽取，抽气泵的种类包括机械泵、根泵、分子泵等。
在真空腔体内部产生等离子体后，等离子体会与待清洗的样品表面发生反应，将表面污染物清除。等离子体的种类包括辉光放电等离子体、微波等离子体、射频等离子体等。
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