【普乐斯】卷对卷型等离子清洗机 RTR100L-W500

产品简介

品牌：普乐斯

名称：卷对卷型等离子清洗机

型号：RTR100L-W500

功率：整机峰值功率4KW

用途：用于不同材料的表面处理、进行刻蚀

产品特点

v真空室自动开关，一键式启停，操作简单方便
v真空室内置张力控制系统，稳定材料涨缩，使处理更加平稳
v高性能等离子发生器，激发更为稳定之等离子体
v水平电极结构设计，更适合柔性材料
v采用中通水冷电极，真正实现过程温度控制，均衡均一
v独特的卷曲设计，解决卷式材料穿料问题，牵引材料更便捷
v精确速度控制，精准控制速度的同时，实现恒张力恒速度

产品参数

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型号		RTR100L-W500
控制系统	控制方式	全自动控制（自动/手动切换）
		PLC（标配）/PC（可选）
	操作系统	Windows 10
	触摸屏	7寸
整机规格	尺寸	W6900×D1650×H1150mm
腔体	处理宽幅	<520mm
	材质	铝合金（标配）/不锈钢（可选），腔体3段式
冰水机	通路	用于电源、电极、真空泵浦的冷却
	供电	AC380V、3PH、50/60Hz、3KW
蚀刻能效	速率	≥0.5µm/Min
	均匀性	≥90%
真空计	薄膜硅电容耐腐蚀	1个，0-10Torr
流量计	MFC质量流量控制器	4个，量程0-2000ml/min
真空泵	干泵机组（螺杆泵+罗茨泵）	1套，120m³/h+1800 m³/h；极限真空值≤50mTorr
发生器	中频	40KHz，20KW
温度控制系统	过程温度控制	30-150℃恒定可控
张力控制系统	数显张力	-
其它	工艺气体：14MPa减压至0.3MPa，O₂=9.99%;Ar=99.99%;N₂=99.99%;CF₄=99.999% 气体压力：0.2MPa≤气源≤1MPa；气源压力：0.3-0.8MPa；气源纯度：无油无水干燥气体；工作环境温度：≤30℃；冻水流量：5 SLM；干燥Air/N₂流量：17 SLM

注：以上参数仅供参考，本公司可能对相关产品参数进行调整，如有变动，恕不再另行通知。若有不明处，欢迎来电询问。

工作原理

利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态，也叫做物质的第四态，并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。等离子清洁机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、涂覆等目的。