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【普乐斯】卷对卷型等离子清洗机 RTR100L-W500

卷对卷型等离子清洗机 RTR100L-W500

产品简介

品牌:普乐斯
名称:卷对卷型等离子清洗机
型号:RTR100L-W500
功率: 整机峰值功率4KW
用途:用于不同材料的表面处理、进行刻蚀

产品特点

v真空室自动开关,一键式启停,操作简单方便
v真空室内置张力控制系统,稳定材料涨缩,使处理更加平稳
v高性能等离子发生器,激发更为稳定之等离子体
v水平电极结构设计,更适合柔性材料
v采用中通水冷电极,真正实现过程温度控制,均衡均一
v独特的卷曲设计,解决卷式材料穿料问题,牵引材料更便捷
v精确速度控制,精准控制速度的同时,实现恒张力恒速度

产品参数

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型号 RTR100L-W500
控制系统 控制方式 全自动控制(自动/手动切换)
    PLC(标配)/PC(可选)
  操作系统 Windows 10
  触摸屏 7寸
整机规格 尺寸 W6900×D1650×H1150mm
腔体 处理宽幅 <520mm
  材质 铝合金(标配)/不锈钢(可选),腔体3段式
冰水机 通路 用于电源、电极、真空泵浦的冷却
  供电 AC380V、3PH、50/60Hz、3KW
蚀刻能效 速率 ≥0.5µm/Min
  均匀性 ≥90%
真空计 薄膜硅电容耐腐蚀 1个,0-10Torr
流量计 MFC质量流量控制器 4个,量程0-2000ml/min
真空泵 干泵机组(螺杆泵+罗茨泵) 1套,120m3/h+1800 m3/h;极限真空值≤50mTorr
发生器 中频 40KHz,20KW
温度控制系统 过程温度控制 30-150℃恒定可控
张力控制系统 数显张力 -
其它 工艺气体:14MPa减压至0.3MPa,O2=9.99%;Ar=99.99%;N2=99.99%;CF4=99.999%
气体压力:0.2MPa≤气源≤1MPa;气源压力:0.3-0.8MPa;气源纯度:无油无水干燥气体;工作环境温度:≤30℃;冻水流量:5 SLM;干燥Air/N2流量:17 SLM

注:以上参数仅供参考,本公司可能对相关产品参数进行调整,如有变动,恕不再另行通知。若有不明处,欢迎来电询问。

工作原理

利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态,也叫做物质的第四态,并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括:离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子清洁机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面,从而实现清洁、涂覆等目的。

应用领域

v柔性材料的表面清洗、表面活化、表面粗表面刻蚀等
v塑胶薄膜、金属薄膜等水平卷式连续处理可绕折的卷材

快速反应,专业配合,精心打造服务生态链
1年质保,终身维护,提供配套服务
承诺到达现场的时限:昆山4小时,苏州8小时,江浙沪24小时,其他区域48小时