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1519-04
等离子体清洗机不同激发频率的特点? 射频放电(容性耦合方式)过程中,电极板产生的自偏压受到放电气压的影响,大致位于几十V到几百V的区间,电子的功率吸收主要来自于与电极板表面的振荡鞘层相互作用中获得的。所以,射...
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