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普乐斯15年专注等离子清洗机研制低温等离子表面处理系统方案解决商

业务咨询热线:400-816-9009免费等离子清洗机处理样品

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半导体硅

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产品特点

样品介绍:此样品是应用于半导体领域,样品中间有一层晶圆。
 
 
工艺难点:晶圆表面太过光滑不能满足下段工序的要求,由于晶圆面积太小,用其他方法对表面粗化比较困难。
 
等离子处理目的:用普乐斯真空等离子设备对样品表面进行处理,利用特殊气体电离产生的等离子与晶圆表面进行反应,同时利用等离子的物理反应,以达到晶圆表面的粗化。处理前后在显微镜下面可以明显的观察到粗化的效果。

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产品参数

注:以上参数仅供参考,本公司可能对相关产品参数进行调整,如有变动,恕不再另行通知。若有不明处,欢迎来电询问。
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工作原理

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应用领域

快速反应,专业配合,精心打造服务生态链
1年质保,终身维护,提供配套服务
承诺到达现场的时限:昆山4小时,苏州8小时,江浙沪24小时,其他区域48小时
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荣誉资质

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