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挑战EUV光刻?NIL靠谱吗! 芯片制造离不开光刻机,且制程越先进,其重要性越凸出,占芯片制造总成本比例也越高,总体来看,光刻机的成本占总设备成本的30%。当制程发展到7nm后,必须要用到EUV(极紫外线)光刻机,这...
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