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0219-09
等离子表面刻蚀常用四氟化碳？ 等离子清洗机的功能主要包括清洗、活化、接枝（沉积）及刻蚀，实现这些功能除对放电方式和电极结构有要求外，工艺气体的选择也是非常重要的，特别是 等离子表面刻蚀 功能。四氟化碳是实现刻蚀功能的一种常规气体。 一、等离子刻蚀为什么常用四氟化碳 刻蚀通常又会被称为蚀刻、咬蚀、凹蚀等，刻蚀作用是利用典型的气体组合形成具有强烈蚀刻性的气相等离子体与物体...
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