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真空(低压)等离子体放电状态美图秀 真空等离子体,又称低气压等离子体,是指在低气压(1.33Pa~1.33kPa)、低质量流量条件下,由低频(40KHz)、高频(13.56MHz)、微波(2.45GHz)等激发的辉光放电产生的。普乐斯整理了一些...
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