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等离子清洗机大气射流等离子体的发展和影响射流长度的条件 当前,微电子工业中用到的等离子清洗机低温等离子体工艺仍是在真空条件下来完成的。为了降低工艺成本、摆脱对真空环境的依赖,大气射流等离子体方向的研究得到良好发展。...
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